双频激光干涉仪系统误差概述发表时间:2022-02-20 22:01 双频激光干涉仪的系统误差大致由三部分组成:仪器误差、几何误差(或称之为安装误差)以及环境误差,如表2所示。三种误差中,仪器误差可控制在2nm以下;几何误差可以通过测校进行动态补偿,残差可控制在几纳米以内;环境误差的影响最大,通常可达几十纳米到几微米量级,与测试的环境参数(温度、压力、湿度等)和量程几乎成正比,因此对大量程测量,需要对环境参数进行控制或测量。 威九国际已满18免费威尼斯国际提供多通道温度压力湿度采集模块,对环境参数进行实时测量。更多详情请登录www.spoe.com.cn查阅。 更多信息,请登录威九国际已满18免费威尼斯国际官方网站www.spoe.com.cn进行查阅! 上一篇案例1:线性位移测量
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